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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造真空镀膜设备的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,金钯镀膜机,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,塑镜镀膜机,如果要获得高真空的话,必须采用油扩...


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真空镀膜设备的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,金钯镀膜机,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,塑镜镀膜机,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。 由于油扩散泵是最早用来获得高真空的泵,其由于造价便宜,台州市镀膜机,维护方便,使用广泛,所以本文将重点讨论。 油扩散泵的应用压强范围是10-1帕-10-7帕,它是利用气体的扩散现象来排气的,它具有结构简单,操作方便,抽速大(最高可以达到10+5升/秒)等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成,里面主要添加扩散泵油根据喷嘴的多少可以分为单级泵多级泵

 


 

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真空镀膜设备中主要部件的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

真空计真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计,绝对真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。 本论文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计: 电阻真空计(又叫皮喇尼真空计): 它主要由电热丝外壳支架构成,主要是根据在低压下,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成,两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候,由于气体热传导散失的热量减小,真空镀膜机,因此当热丝加热电流稳定时候,则热丝温度就上升,热丝的电阻就增大,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强,有以下关系: 略 这就是电阻真空计的工作原理,此真空计的测量范围是:100-10-1帕之间,目前采用的型号是WP-02 磁控放电真空计

 

 


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