丽水市镀膜机,真空镀膜机,15766173055

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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法: 电控柜操作1. 开水泵、气源。2. 开总电源。3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4. 开机械泵、...


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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法:


 

电控柜操作

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源

3. 开维持泵、真空计电源真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、予抽,丽水市镀膜机,开涡轮分子泵电源、启动,金钯镀膜机,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,塑镜镀膜机,关予抽,开前机和

高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源

 


 

肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备存在问题及解决方法:


当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

2、坩埚被打穿(更换坩埚)

3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

4、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃

 


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