肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备存在问题及解决方法：
长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大，机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
6、高低预阀是否密封可靠（注油）
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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
扩散泵在安装前要清洗，金钯镀膜机，之后才可以装入扩散油，油在加热前，必须要先对泵抽真空，双门镀膜机，停机前要先将扩散泵油冷却到60～70摄氏度，才可以关闭前级抽气，最后关冷却水。 由于油扩散泵是无法杜绝有返油的几率，那么没有办法保证精密产品的100％纯净，宁波市镀膜机，特别是半导体行业，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空机械泵”所组成的无油真空系统，冷凝泵组成的排气系统不仅排气效率极高，而且有效保证真空腔的清洁，塑镜镀膜机，保证产品的质量（避免产品被污染、增强膜层与基板之间的附着力），但是其维护成本非常的高，造价昂贵，所以普及率没有油扩散泵广泛。
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