肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备存在问题及解决方法:
当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
2、坩埚被打穿(更换坩埚)
3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
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问题解决:
是反复几次,湖州市镀膜机,确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上,双门真空镀膜机,查外漏没有发现疑点,镀膜机参数价格,但是却有以下现象:机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点,但是却有以下现象:机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏
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