肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法：
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，再关维持泵。
关机顺序
1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，双门真空镀膜机，这期间约需40分钟。
3. 到50以下时，钯金溶体镀膜机，再关维持泵。
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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
成膜控制系统 薄膜监－控目前应用方式比较多，主要有：目视监－控法，定（极值）值监－控、水晶振荡监－控、时间监－控等等。本人主要介绍目视监－控、定（极值）监－控和水晶振荡监－控三种。 目视监－控也叫直接监－控，杭州市镀膜机，就是采用眼睛监－控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。 定值（极值）监－控：主要是采用反射式（透过式）光学监－控。极值监－控法：当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，立旋溅射式镀膜机，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监－控波长（入）的四分之一的整数倍。但是极值的方法误差比较大，因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处
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