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问题解决：
是反复几次，确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，镜片真空镀膜机，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏
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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸汽流中，便获得向下运动的动量，潮州市真空镀膜机，向下飞去，由于射流具有高的流速（约200米/秒），高的蒸汽密度，且扩散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的带走气体分子，因此在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，且在射流界面的两边，被抽气体有很大的浓度差，正是因为这个浓度差被抽气体能不断的越过界面，扩散进入射流中，被带往出口处，在出口处再由机械泵抽走。 扩散泵的油蒸汽压是决定泵的极限真空的重要因素，因此尽量选用饱和蒸汽压低的泵油，其化学特性要好。 扩散泵不能单独用来抽气，金钯真空镀膜机，一般要求泵的大出口压强为40帕。扩散泵的抽速决定于一级喷嘴与泵体进气口口径间环形面积的大小，抽速不是一恒定的值，而是随着进气口的压强而变化的，当压强在10-2～10-3帕的时候，扩散泵的抽气速度是最快的，当压强小于5*10-4帕之后，高效真空镀膜机，扩散泵的抽气速度小，几乎没有抽气能力（此时，进气口的压强较高，由于空气的密度较大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻挡空气的反扩散，所以抽速下降）
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