肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
油扩散泵：机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。 由于油扩散泵是最早用来获得高真空的泵，其由于造价便宜，双门连续真空镀膜机，维护方便，萝茨真空镀膜机，使用广泛，所以本文将重点讨论。 油扩散泵的应用压强范围是10-1帕-10-7帕，茂名市真空镀膜机，它是利用气体的扩散现象来排气的，它具有结构简单，操作方便，金钯真空镀膜机，抽速大（高可以达到10+5升/秒）等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成，里面主要添加扩散泵油根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
晶向均匀性：
1。晶格匹配度
2。 基片温度
3。蒸发速率
溅射镀膜又分为很多种，总体看，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。
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