挂铝真空膜,韶关市真空膜,15766173055

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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法: 电控柜操作1. 开水泵、气源。2. 开总电源。3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4. 开机械泵、...


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真空镀膜设备使用、存在问题、及解决方法:


 

电控柜操作

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源

3. 开维持泵、真空计电源真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,韶关市真空膜,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和

高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源

 


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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

成膜控制系统 薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。 目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,蒸铝真空膜,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。 定值(极值)监控:主要是采用反射式(透过式)光学监控。极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,镀膜真空膜,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整数倍。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处

 


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