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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

 


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电控柜操作

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源

3. 开维持泵、真空计电源真空计档位置V1位置,汕头市真空膜,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,镀膜真空膜,关予抽,塑片真空膜,开前机和

高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源

 


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