真空镀膜设备存在问题及解决方法：
真空淬火炉达不到真空度:可能是真空机组的抽气能力不够，立门镀膜机，也可能是漏率偏高，或两者都有，将真空室抽到一定的真空状态后，关闭真空阀，如果真空计数值上升很快，多数情况是真空室漏，这时应先查出漏点并且治漏
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，珠海市镀膜机，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，金银镀膜机，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。
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