舟山市镀膜机,15766173055,钯柄镀膜机

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 肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造真空镀膜设备存在问题及解决方法:当正在镀膜时真空度突然下降1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)2、坩埚被打穿...


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肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备存在问题及解决方法:


当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

2、坩埚被打穿(更换坩埚)

3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

4、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃

 


 


肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造

真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法:

 

需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。

 

一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,双门镀膜机,目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,舟山市镀膜机,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,卧联镀膜机,用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成 排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。


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