肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
成膜控制系统 薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。 目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，镜片镀膜机，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，镀膜机制造，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。 定值（极值）监控：主要是采用反射式（透过式）光学监控。极值监控法：当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长（入）的四分之一的整数倍。但是极值的方法误差比较大，因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处
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真空镀膜设备中泵的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
扩散泵底部内储存有扩散泵油，上部为进气口，右侧旁下部为出气口，在工作时出气口由机械泵提供前置压强，机械泵充当前置泵。 当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸汽提供前置压强，杭州市镀膜机，机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可喷出一段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁，凝结为液体，立旋镀膜机，流回蒸发器，即靠油的蒸发——喷射——凝结，重复循环来实现抽气的
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