肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备中主部件的使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
公司去年推出的DLC硬膜镀膜机，镀膜机专利，基本介绍如下：
一、主要技术参数
1、涂层种类：DLC类金刚石膜、金色TIN、黑色TIC、黑色陶瓷膜
3、真空室结构：立式单开门、双层水冷、独特结构
4、加热系统：常温—450℃可控可调，抽气/升温1小时内可以同时完成
5、气体流量：多路MFC气体配置
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真空镀膜设备使用、原理简介、存在问题、及解决方法：
需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，绍兴市镀膜机，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，镜片镀膜机，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，立旋镀膜机，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。
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